お問い合わせ

技術情報

HOME>技術情報一覧>シーズ>量子科学技術研究開発機構>軟X線レーザーを用いたナノ構造形成と超微細加工技術

量子科学技術研究開発機構量子科学技術研究開発機構

軟X線レーザーを用いたナノ構造形成と超微細加工技術

研究者
量子ビーム科学部門主幹研究員石野雅彦
キーワード
軟X線レーザー　ナノ構造　加工

波長13.9nmの軟X線レーザーパルスを材料表面に照射することにより、ナノメートルサイズの構造体を形成する。