プラズマと材料表面との相互作用では、プラズマにより材料表面が改質され、改質された表面の影響で表面近傍のプラズマ特性が影響を受ける。このプラズマ・材料表面相互作用の循環のダイナミクスを理解することでブレークスルーをもたらす。