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筑波大学筑波大学

プラズマ応用制御の高度化に向けたプラズマと材料との相互作用に関する基礎的研究

研究者
数理物質系 教授 坂本瑞樹
キーワード
プラズマ応用制御、材料

プラズマと材料表面との相互作用では、プラズマにより材料表面が改質され、改質された表面の影響で表面近傍のプラズマ特性が影響を受ける。このプラズマ・材料表面相互作用の循環のダイナミクスを理解することでブレークスルーをもたらす。