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光酸発生材料、これを用いたフォトリソグラフィー材料、光パターニングまたは光リソグラフィー

千葉大学

光酸発生材料、これを用いたフォトリソグラフィー材料、光パターニングまたは光リソグラフィー

  • 研究者:大学院工学研究科 高原 茂 教授
  • キーワード:レーザーダイレクトイメージング

レーザーダイレクトイメージング技術などに用いる光開始系として、酸素阻害の影響がなく、自由度の高い高感度光酸発生系を提供します。

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